真空镀膜常见术语中英文对照
真空镀膜常见术语中英文对照: 溅射: Sputtering 靶材: Target 离子溅射镀膜: Ion Beam Sputter Deposition, 简称 IBSD 离子辅助镀膜: Ion Beam Assisted Deposition, 简称 IBAD 离子清洗, 预清洁: Pre-clean, 简称 PC 电子枪蒸镀镀膜机: e-gun coater 分布式布拉格反射镜: Distributed Bragg Reflection, 简称 DBR 离子蚀刻: Ion Beam Etching, 简称 IBE
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