三维压电扫描台用于显微镜探针校准
P15系列压电扫描台还可以轻松与其他机械定位系统结合使用。它们适合从光学研究到OEM系统的各种应用。特点
•XYZ三维直线运动
•通孔尺寸66×66mm
•设计紧凑
•固态铰链确保高可靠性
•纳米级/亚纳米级高分辨率
•行程范围300μm/轴
•可选配闭环传感器
阶跃时间
闭环上升曲线，满行程阶跃时间60ms。
技术参数
型号：P15.XYZ300
运动自由度：XYZ
行程范围（0~120V）：240μm/轴
行程范围（0~150V）：300μm/轴
闭环传感器：SGS
通孔尺寸：66×66mm
闭/开环分辨率：13/6 nm
闭环线性度：0.2%F.S.
闭环重复定位精度：0.1%F.S.
俯仰/偏航/滚动：
推/拉力：50/10N
运动方向刚度：0.1N/μm
空载谐振频率（X/Y/Z）：450/550/120Hz
闭/开环空载阶跃时间：60/10ms
承载能力：0.5kg
静电容量：10.8μF/轴
材质：铝
重量：900g
线长：1.5m
应用案例：
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