压电纳米扫描系统在干涉测量系统中的应用！
http://img80.mtnets.com/5/20210410/637536160092899069875.jpg干涉测量
干涉测量是基于电磁波的干涉理论，通过检测相干电磁波的干涉图样、频率、振幅、相位等属性，将其应用于各种相关测量的技术的统称。用于实现干涉测量术的仪器被称作干涉仪。在当今科研领域、工业领域等，干涉测量术都发挥着重要作用，包括天文学、光纤光学、工程测量学等。
迈克尔逊干涉仪原理图
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干涉物镜
干涉物镜就是将显微镜物镜与干涉仪结合起来设计而成的一种特殊的显微镜物镜。它的原理是一束光通过分光镜后，将光直接射向样品表面和内置反光镜，从样品表面反射的光线和内置反射镜反射的光线再结合，就产生了干涉图案。
三种干涉物镜结构图
Michelson型
data:image/gif;base64,iVBORw0KGgoAAAANSUhEUgAAAAEAAAABCAYAAAAfFcSJAAAADUlEQVQImWNgYGBgAAAABQABh6FO1AAAAABJRU5ErkJggg== http://img80.mtnets.com/5/20210410/637536160097111123115.jpg data:image/gif;base64,iVBORw0KGgoAAAANSUhEUgAAAAEAAAABCAYAAAAfFcSJAAAADUlEQVQImWNgYGBgAAAABQABh6FO1AAAAABJRU5ErkJggg== http://img80.mtnets.com/5/20210410/637536160099139149902.jpg
压电扫描系统应用于笼式干涉系统
系统实物图
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图片来源：锐光凯奇
型号：P70.Z8S（直驱机构）
运动自由度：Z
行程范围：8μm（@150V）
传感器类型：SGS
闭/开环分辨率：1/0.6nm
闭环线性度：0.25%F.S.
闭环重复定位精度：0.16%F.S.
俯仰/偏航/滚动：<10μrad
承载能力：200g
闭环响应时间：20ms
空载谐振频率：3.6kHz
加载谐振频率：1.5kHz（200g）
静电容量：1.6μF
重量：128.5g
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