高精度直线压电扫描台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，压电扫描台中心具有通孔且体积小巧、无摩擦、分辨率高、响应速度快，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有的可靠性。产品主要应用于透光精密光学器件的定位与调整、生物显微与光学显微成像系统等。
特点
高分辨率
压电扫描台是以压电陶瓷作为驱动源，压电陶瓷是高精度致动器，通过控制电压的微小变化产生非常小的位移，可达到亚纳米级。
多种通孔尺寸可选
从适用于小型设备（如红外热成像）的小通孔压电扫描台到大型设备（如大口径干涉仪）用的大通孔压电扫描台，多种规格型号可选。
快速响应、抗干扰
压电纳米定位台由容性负载驱动，可产生毫秒级的响应时间，响应速度非常快，同时由于自身的材料特性，使其在使用过程中不受干扰，能够实现大的性能输出。
无磨损、低功耗
压电纳米运动系统采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。同时压电效应将电能直接转换为运动，在静态操作时，即使在负载情况下，也不会消耗功率。
应用领域
原子力显微镜
闭环纳米定位扫描台作为原子力显微镜的一部分，可带动样品进行高速精密运动，可以实现X、Y、Z轴大375μm的扫描，分辨率为亚纳米级，响应时间可达亚毫秒。
三维共焦显微
三维共聚焦显微拉曼光谱分析仪器，能在纳米范围内测量物质化学状态的三维图像。压电物镜驱动器实现对显微镜在Z轴方向上的纳米级在线实时调焦，XY二维压电扫描台实现对被测物高精度的二维平面位移运动。
红外热成像扫描
红外热成像通过红外敏感CCD对物体进行成像，能反映出物体表面的温度场。二维压电扫描台的高速高精度扫描大大提高了热成像的分辨率。
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发表于：2026-2-9 09:29:14 2374
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