真空计真空测量原理介绍

       电容真空计介绍 真空测量原理介绍
　　由于压力不同，会引起电容两极距离的变化，这会使电容的大小发生变化。这样通过测量这种电容大小的变化，就能得知当前的真空度。直接压强测量; 测量范围由电极膜片厚度不同而不同

　　CMR系列真空计参数
　　介面
　　DN 16 ISO-KF
　　解析度
　　0.003% 全量程
　　输出信号
　　0.4---+9.8 VDC
　　介面温度
　　≤110 ℃
　　压力
　　2 bar
　　精度
　　0.2% of reading
　　重量
　　<300 g
　　接触材质
　　Ceramics(AL2O3),Stainless steel
　　测量范围
　　1.1---1.0*10-4mba
　　信号线
　　120 m
　　操作环境温度
　　+5---+50℃
　　储存环境温度
　　-40---+65℃
　　供电电压
　　14---30VDC
　　功率消耗
　　1W
　　CMR36X与27X比较:
　　型号
　　测量范围(mbar)
　　型号
　　测量范围(mbar)
　　CMR 361
　　1100--1E-1
　　CMR 271
　　1100--1E-1
　　CMR 362
　　110—1E-2
　　CMR 272
　　110—1E-2
　　CMR 363
　　11—1E-3
　　CMR 273
　　11—1E-3
　　CMR 364
　　1.1—1E-4
　　CMR 274
　　1.1—1E-4
　　CMR 365
　　0.11—1E-5
　　CMR 275
　　0.11—1E-5
　　CMR系列真空计主要特点：
　　◆没有记忆影响
　　◆测量精度不受被测对象的成分影响
　　◆无磨损，耐污染
　　◆使用热膨胀系数一致的材料----出色的温度补偿能力
　　◆全系列抗腐蚀性气体
　　◆0点稳定能力出色
　　◆耐空气冲击----无须额外的保护阀
　　应用实例
　　◆ PVA真空冶炼炉
　　◆株洲硬质合金
　　◆富士康臻龙粉末烧结炉
　　离子真空计原理介绍
　　压强的大小一方面体现为力的大小，另一方面还体现为单位体积内分子数的多少。在高真空条件下，可以通过计量单位体积内分子数的多少，来测知当前的真空度。
　　电子在相同的电子能量，相同的磁场中，所引起的分子电离电流越大，说明分子数密度越大。离子真空计就是在高真空条件下，通过计量分子电离电流的大小来测得分子数密度，从而测得真空度。
　　冷阴极离子真空计（Cold cathode ionization vacuum gauge）
　　是通过加在阴阳两极间的高电压（3kv左右），激出电子，同时这个电场又给了电子能量，用具有一定能量的电子去电离空气分子。

　　热阴极离子真空计(Hot cathode ionization vacuum gauge是通过加热阴极，激出电子，再设置一定的电场（100v左右），给电子一定的能量，去电离空气分子。

　　冷阴极离子真空计特点:
　　◆ 结构简单，可靠耐用
　　◆性价比高，测量范围可到超高真空
　　◆耐空气冲击
　　◆全系列可防腐蚀，有高温烘烤型
　　热阴极离子真空计特点:
　　◆精度和精密度高
　　◆测量范围宽
　　◆探头自动保护
　　◆全系列可防腐蚀
　　应用实例
　　◆Von ardenne玻璃镀膜生产线
　　◆BPS 溅镀机
　　Pfeiffer离子真空计介绍
　　项目
　　IKR 251
　　IKR 261
　　IKR 270
　　IMR 265
　　PBR 260
　　信号范围
　　1.8-8.5 V
　　1.8-8.5 V
　　1.8-8.5 V
　　1.5-9.75 V
　　0.774-10 V
　　可烘烤温度
　　150 ℃
　　150 ℃
　　250 ℃
　　150 ℃
　　150 ℃
　　耐压
　　10 bar
　　10 bar
　　10 bar
　　5 bar
　　2 bar
　　精度
　　&plusmn;30%
　　&plusmn;30%
　　&plusmn;30%
　　-
　　15%
　　重复精度
　　&plusmn;5%
　　&plusmn;5%
　　&plusmn;5%
　　2%
　　5%
　　测量范围
　　1E-2—2E-9 mbar
　　1E-2—2E-9 mbar
　　1E-2—5E-11mbar
　　1E3—2E-6 mbar
　　1E3—5E-10 mbar
　　信号线长度
　　500 m
　　500 m
　　500 m
　　100 m
　　100 m
　　电源电压
　　15-30 V
　　15-30 V
　　15-30 V
　　20-30 V
　　20-28 V
　　功率消耗
　　2 W
　　2 W
　　2 W
　　16 W
　　16 W