芯明天光纤发射三维调整台

      

　　技术参数
　　型号：XD601.XYZ
　　运动自由度：XYZ
　　行程范围@120V：X130/Y130/Z250μm
　　行程范围@150V：X180/Y180/Z300μm
　　闭环传感器：SGS
　　闭分辨率：XY7nm Z10nm
　　承载能力：0.2 kg
　　压电控制器

　　技术参数
　　型号：E70.D3S
　　通道数：3
　　模拟输入：0~10V
　　输出电压：0~120/150V
　　平均电流：70mA
　　放大器带宽：10kHz
　　传感器类型：SGS
　　通信接口：RS-232/422
　　重 量：1.2kg
　　供电电压：24V DC1.5A(36W)