全封闭显影机优势
·全封闭式显影,避免雾气扩散到外部,污染环境。
·外壳喷塑,耐腐蚀,易清洗。
·内腔镀特氟龙,光滑,耐腐蚀,易清洗。
·内置真空过滤器,防止液体吸入真空泵。
·真空压力可调,压力值实时显示。
·液体流量可调,回吸可调。
全封闭显影机参数
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圆晶)
·转速分辨率:±1RPM
·旋涂速度:20-3000rpm(空载)
·旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空载)
·工艺时间设定:0-3,000sec/step,时间设置精度:0.1sec
·该机型适用于标准3路显影机(1路洗衣液,1路纯水,1路氮气)
·单步工艺及多步工艺可选,内置100组可编辑程序
·可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。
设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能,并且喷嘴位置可程控移动,实现自动显影和清洗作业。
江苏雷博科学仪器有限公司2013年9月成立于江苏江阴,是一家初期以高档专业的实验室仪器开发为目标的海归创业企业。公司主营高档实验室仪器及半导体设备开发业务。公司技术力量雄厚,人才济济,凭借雄厚的技术实力不断进行新产品开发和创新实现,在纳米薄膜制备类仪器领域取得了显著的市场地位。公司生产的高精度高可靠性匀胶机荣获江苏省**产品,是国内匀胶机全系列、多功能、定制化服务的供应商。
公司生产和销售不同领域的高档科研仪器和工业半导体设备:Schwantechnology®是我们的纳米薄膜制备类设备品牌,主要有匀胶机、显影机、烤胶机、提拉机、喷胶机、涂膜机、狭缝涂布机等相关产品;LEBOscience®是我们的工业半导体设备品牌,主要有匀胶机、显影机、蚀刻机、去胶机、清洗机等独立柜式机台及工业全自动机台。公司产品被广泛应用于纳米薄膜制备需求的钙钛矿薄膜太阳能、有机光电、MEMS、声表、光通讯、化合物半导体及**封装等领域,具有核心技术可靠、高性价比、定制化服务的竞争优势。 |