位移可达±10μm
承载能力1kg
可定制
真空版本可选
显微成像
表面检测
图像稳定
干涉/计量
频率负载曲线
高动态 高分辨率
动态性能好
型号：N62.XY20
运动自由度：XY
行程范围（0~120V）：±8μm/轴
行程范围（0~150V）：±10μm/轴
闭环传感器类型：SGS
通孔尺寸：Ø26mm
闭/开环分辨率：1/0.5nm
闭环线性度：0.3%F.S.
闭环重复定位精度：0.1%F.S.
俯仰/偏航/滚动：<10μrad
推/拉力：44/44N
运动方向刚度：X2.2/Y2.2N/μm
空载谐振频率：X2000/Y2000Hz
闭/开环空载阶跃时间：1.5/0.7ms
承载能力：1kg
静电容量：1.6μF/轴
材质：钢、铝
重量：180g | 
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发表于：2026-1-9 13:45:06 1819
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